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上海续波光电技术有限公司
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关键词：磁控溅射、电子束蒸镀、超高真空、金属膜、氧化膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、
多腔体、Qubit、UHV、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputtering system
Evaporation system、Nb-based superconductor、超导铝结、Josephson junction
型号：MEB 550 SL 产地：欧洲 应用：沉积几乎任何金属及氧化物薄膜。
推荐配置：可以用于沉积几乎任何金属及氧化物薄膜，目前主要超导量子实验室均使用该设备制备超导结（量子比特和约瑟夫森结）和量子器件，可以制备大面积、高度稳定性和可重复性超导结。
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