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上海续波光电技术有限公司
关键词:多靶磁控溅射、共溅射、Co-sputter、金属膜、氧化膜、半导体膜、非金属膜、约瑟夫森结、超导、量子器件、量子比特、Qubit、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、sputteringsystem、Josephsonjunction设备型号:MP600S;产地:欧洲
关键词:多靶磁控溅射、共溅射、Co-sputter、金属膜、氧化膜、半导体膜、非金属膜、约瑟夫森结、
超导、量子器件、量子比特、 Qubit、铌基超导、氮化铌、钛氮化铌、NbTiN、NbN、
sputtering system、Josephson junction
设备型号:MP600S; 产地:欧洲; 应用:制备铌基超导结或溅射其他膜材
磁控溅射镀膜系统可以沉积各种金属、半导体、非金属薄膜,又特别适合用于超导量子结、约瑟夫森结等量子器件的制备,例如:超导Nb、NbN、NbTiN及其他材料等,
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