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Canon Anelva二手物理气相沉积PVD设备FC7100

Canon Anelva二手物理气相沉积PVD设备FC7100
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更新时间：2023-02-25 12:50:47浏览次数：48次

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CanonAnelva二手物理气相沉积PVD设备FC7100于2011年开始投入使用，适用于12英寸晶圆

详情介绍

Canon Anelva二手物理气相沉积PVD设备FC7100于2011年开始投入使用，适用于12英寸晶圆。

特点：

能够通过超高真空共溅射控制薄膜成分。

高精度控制（0.1nm单位）膜厚和优异的均匀性（1σ<1%）。

兼容亚32nm节点或更小的镶嵌栅形成工艺。

（使用 PCM-PVD 方法进行高覆盖率沉积）。

通过使用紧凑型阴极降低材料成本。轻松更换材料。

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