Ø产品简介 MiniLab060是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现电子束蒸发镀膜，常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时该系统还可加载等离子源，刻蚀系统与退火系统，是科研用户PVD的理想选择。 Ø产品特性 • 落地式薄膜沉积系统，模块化设计 • 可选择4个DC与RF磁控溅射源，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射 • 可选择4个电阻热蒸发源与低温热蒸发源，用于金属及有机物镀膜 • 可选择电子束源，用于难熔金属或者蒸汽压低的金属材料 • 可支持11英寸样品 • 兼容手套箱 • 可加4路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制 • 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5×10-7 mbar • 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测 • 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作 • 自定义并可存储多个recipe • 操作安全：自带各种软硬件互锁功能 • 售后维护简单 • 样品台：可加热（800℃），冷却，旋转，升降，偏压，行星式衬底夹具 • 可选配预真空锁，实现高真空环境下的样品传递 • 可选配离子源：用于样品预清洗及纳米表面改性 • 可选配高温退火系统 Ø典型结构 • 难熔金属蒸镀：配置多坩埚电子束源 • 金属薄膜与绝缘层蒸镀：配置4个磁控溅射源 • 金属薄膜蒸镀：配置4个电阻高温热蒸发源 • 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与2个LTE低温热蒸发源 Ø应用 该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
微纳（香港）科技有限公司(MNT)是一家专业的高科技仪器与设备供应商。是由海外留学归国人员创办的专门从事国外检测设备代理的高科技公司，我们已经与多所高校共建了合作关系，致力于为中国材料，机械，半导体，医学，汽车，航天等领域提供国际的检测设备与技术解决方案。 目前， 微纳（香港）科技有限公司（MNT）是多家欧美、韩国仪器供应商在中国的代理商，主要负责相关设备在中国的销售，技术支持与售后服务， 产品涵盖原子力显微镜、光学轮廓仪、表面轮廓仪、三维表面形貌仪、纳米压痕仪、微米压痕仪、纳米划痕仪、微米划痕仪、摩擦磨损试验机、热蒸发镀膜系统、磁控溅射镀膜系统、电子束蒸发系统、CVD、等离子刻蚀机、真空高温退火炉、棱镜耦合仪、共聚焦拉曼显微镜等诸多产品，客户遍及中国各大高校、科研院所及企业。 我司的服务理念是：专业成就品质，服务创造价值，诚信铸就品牌！
MiniLab060型PVD综合镀膜系统 产品信息
