Ø产品简介 MiniLab026是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统，采用模块化设计，可在一台仪器上实现常规电阻热蒸发镀膜，低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜，有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜，同时还可搭载等离子刻蚀机退火模块，该系统被国际上许多学术团队采用，是科研用户PVD的理想选择。 Ø产品特性 • 落地结构，模块化设计 • 可选择DC与RF两种磁控溅射源，用于金属及绝缘层镀膜，溅射靶角度连续可调，可独立/依次/共同溅射 • 可选择电阻热蒸发源，低温热蒸发源，用于金属及有机物镀膜 • 可选配等离子刻蚀机及高温退火装置（1100℃） • 可支持6英寸样品 • 兼容手套箱 • 可加3路反应气体，Ar，N2，O2可选配有MFC控制 • 配置高精度真空规进行压力全自动控制，真空度低至 <5×10-7 mbar • 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测 • 操作简单：通过触屏或计算机实现全自动操作 • 自定义并可存储多个recipe • 操作安全：自带各种软硬件互锁功能 • 可选加热样品台，温度500℃，精度+/-1℃ • 可选旋转样品台 • 售后维护简单 Ø典型结构 • 金属薄膜与绝缘层蒸镀：配置2个磁控溅射源 • 金属薄膜蒸镀：配置3个电阻高温热蒸发源 • 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀：配置2个电阻高温热蒸发源与1个LTE低温热蒸发源 Ø应用 该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
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MiniLab026 型PVD综合镀膜系统 产品信息
