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晶圆,光掩膜和基板清洁系统

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  • 公司名称迈可诺技术有限公司
  • 品       牌
  • 型       号SCS112SCSe
  • 所  在  地武汉市
  • 厂商性质代理商
  • 更新时间2020/4/8 17:10:38
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迈可诺技术(Mycro Technologies)成立于2008年,是一家面向中国科研院所和企业研发中心的研究人员,提供实验室设备、耗材和技术支持的专业提供商。十年成长,不断进取,开拓创新,今天的迈可诺欣欣向荣,一片和谐,目前在上海、北京、广州、西安、武汉、天津、香港和北美等地设有分支机构或销售网点,公司自创立以来一直保持高速增长,未来我们将为更多客户提供更全面更优质的服务。

迈可诺整合了欧美日韩等地区的*实验室资源,提供一站式有竞争力的产品和服务,是国内*的科研服务提供商,公司围绕客户需求,提供科研试剂、仪器耗材等产品线,专业代理LAURELL、HARRICK、NXQ、CARVER、EMS、SEMCO、NOVASCAN、UVITRON、ThetaMetrisis、Matrix等产品,为客户提供全面的产品种类、精准的搜索查找、完善的信息介绍、便捷的购物流程,形成科学服务行业的一站式服务平台。 

坚持高品质高服务的经营方针,从源头严格筛选优秀品质的产品,对研发人员负责,让研发人员放心,目前我们的客户已经遍布内地和香港的大部分科研院所和国内外相关企业的工厂或研发部门:北京大学、清华大学、香港大学、香港科技大学、天津大学、国家纳米中心、中科院化学所、应用物理研究所、上海大学、复旦大学、华东理工大学、南京大学、东南大学、苏州大学、浙江大学、中国科学技术大学、湖南大学、华中科技大学、国家光电实验室、武汉理工大学…… 

进口实验室设备耗材,如匀胶湿法显影设备、等离子清洗刻蚀设备、光刻设备、烤胶机、退火炉、紫外光处理系统、气相沉积系统、压片机、探针台、光学膜厚仪、接触角测角仪、注射泵、显微镜检测系统、光学试剂、光刻胶、钙钛矿材料、碳纸碳布、晶圆片等
介绍:
SCS112型是一款高效率手动型的系统,专门设计用于在划片或划片后清洗晶片。可通过施加高压DI水射流或雾化喷嘴来清洁安装在环(抓环)或胶片框架上的晶圆,然后使用高转速,氮气辅助或红外加热灯进行快速干燥。该系统大可处理8英寸晶圆。
晶圆,光掩膜和基板清洁系统 产品信息

功能:

  • 可处理高达8英寸的晶圆,包括未安装的晶片以及胶带环形和薄膜框架安装晶片。
  • 振荡高压直流水,风扇射流组装(取决于高达1500或2000磅/平方英寸 配置上)或雾化喷雾喷嘴,高效清洁。
  • 快速有效干燥的氮气吹扫和循环结束时的氮晶片提升。
  • 微处理器控制并储存多种配方。
  • 直流无刷主轴电机变速。
  • DI水净化,营造无细菌系统。
  • 内置安全联锁和正极盖,运行期间锁定。

 

选项:

  • 托盘,大可装载8英寸晶片
  • 用于干燥的红外线加热灯
  • 消除静电的二氧化碳再生离子器
  • 内置排气鼓风机
  • 真空发生器

 

产品参数:

  • 产品:晶圆,光掩膜和基板清洁系统  
  • 型号:SCS112
  • 可用机械臂:1
  • 大基板尺寸:高达8英寸的晶圆片
  • 大主轴速度:2500
  • 配方:多3
  • 分配:1
  • 尺寸:26英寸宽x 21英寸深x 40英寸高
  • 重量:约200磅
  • 功率:220伏交流电,10安培,50/60赫兹

 

主营产品:

Laurell匀胶机     

Harrick等离子清洗机

Thetametrisis膜厚仪  

Microxact探针台

ALD原子层沉积系统

TRION反应离子刻蚀机

Uvitron紫外固化箱

NXQ紫外曝光光刻机       

Novascan紫外臭氧清洗机

Nilt纳米压印机

Wenesco/EMS/Unitemp/NDA加热板

Annealsys高温退火炉

Kinematic程序剪切仪

Laurell EDC系统,湿站系统     

Wabash/Carver自动压片机

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