特点：
÷ 直驱无刷微调电机
÷ 全轴电机驱动且*可编程
÷ 具有程序菜单管理功能的软件控制
÷ 带安全中断传感器的透明盖
÷ 旋转器盖传感器控制
÷ 通过触摸屏或按钮启动程序
÷ 7英寸彩色触摸屏PP制成的处理碗和台式外壳
÷ 外壳上的电源开关ON / OFF
÷ 配备标准的水坑喷嘴，通过水坑喷嘴注入溶剂
÷ 可拆卸处理碗和飞溅环，便于清洁
÷ 可处理圆形晶片，尺寸大为Ø200mm（Ø8英寸）
÷ 可处理方形基板，尺寸大为150 x 150毫米（6 x 6英寸）
÷ 标配多安装3个介质管线/喷嘴（可选：多5个介质管线/喷嘴）
÷ 可视真空控制仪
÷ 真空阀块和传感器的安全性由程序启动和系统运行来控制
÷ 含0.5 Itr的废液瓶
÷ 可选的带Z轴移动和PR分配系统的电动介质臂
÷ 可作为台式安装，也可做独立装置使用
÷ 简单且经济高效
÷ 专为研究所，实验室和基础研发而设计
应用于：旋涂，显影，清洁和干燥
产品参数：
可处理衬底尺寸：直径大为Ø200mm（Ø8英寸）圆片，或大为150 x 150毫米（6 x 6英寸）方片；
旋转速度：10,000rpm *，（以rpm步长为单位）；
加速度：4.000 rpm / sec *；
处理时间：1至999,9sec，以0.1秒为步；
处理碗：可更换，聚丙烯（PP）材质
腔体：白色（PP）材质
固定晶圆片或衬底的装置：真空托盘；
电源：230（208）VAC / 1Phase/ N / PE / 50（60）Hz
真空：-0.8 bar / -600 Torr，管外直径6 mm
排气-过程：1x外径38毫米，约 30立方米/小时
氮气（可选）：4土0.2 bar，PFA管外径6 mm
CDA（可选）：8土2bar，管外径8mm。
选配项：
适用各种尺寸大小的托盘
分配臂
泵
