晶圆划片机

将基板放在托盘上后，将显微镜聚焦在晶圆表面上。通过手动将工作台驱动到x和y方向，可以将划线调整为样本上的参考标记或结构。高质量的变焦显微镜可在样品表面的总览和细节显示之间进行快速切换。使用x / y十字架工作台的微调，可以非常精确地定位晶片。划线的接触点可以调节。目镜的十字准线或器上的十字准线定义了划线的接触点。划线由脚踏开关（升高/降低）控制，因此可以用双手控制划线运动。如果定义了划线，则通过脚踏开关降低。为了划片，手动移动整个托盘。相机图像在计算机屏幕上。视频图像可以保存。图片显示了光学元件的不同放大倍率，它们在目镜中显示为8x，16x，32x和40x。

特点：

•挤压型材的基本框架

•尺寸（B×T×H）：400×800×600mm

•重量：20kg

•电动划线（咨询：气动划线，以提高划线力）

•通过脚踏开关控制划线（下降，抬起）

•可调节的划线能力（10 g…120 g，其他可询价）

•划线槽宽度 5 µm…10 µm（取决于划线力度和材料）

•下降速度可调

•划线高度可调

•划线金刚石工作角度可调

•通过真空提取划线颗粒

•高质量的变焦显微镜，可无级调节放大倍率，范围为8×…40×

•十字形目镜，用于根据边缘，结构和参考标记等精确调整划线

•在放大10倍时，光学分辨率更好10 µm

•涂有特氟隆涂层的真空晶片托盘，安装在x / y平台上，直径200 mm（可询问100 mm）

•通过千分尺螺丝微调晶片夹头的角度（10 µm，分辨率= 0.006°）

•托盘精确旋转90°，无需关闭真空

•可调节挡块，使卡盘旋转90°

•手动x / y平台，行程（200×200）mm，用于划刻运动和粗略定位

•25毫米测微头螺钉，可横向于划线方向精确定位

•10毫米测微螺钉，可在划线方向上精确定位

•带亮度控制和电源的LED环形灯

•小样本尺寸约：（10×10）mm

•晶圆厚度：硅晶圆的所有标准厚度

•材料：硅，砷化镓（GaAs）（其他材料如有查询）

•视频系统（也带有图像处理软件）作为附件提供

光学

高质量的变焦光学元件可将放大倍率从8倍调整为40倍。显微镜还提供许多附加功能附件。

产品参数：