设备简介：清洗对象是2～8英寸的硅研磨片。设备整体采用进口PLC控制，通过设定工作节拍传送篮具依次经过各个工序，由上料开始到下料均自动完成。设备工作节拍，各项参数设定采用触摸屏完成。设备整体为密闭结构，具有排风装置。*的机械手设计使抓取定位更准确。注重人性化设计，可根据用户要求定制
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司由*苏州纳米技术与纳米仿生研究所与北京华林伟业合资成立。总投资4500万元。主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备等的研发、技术推广和生产销售。
公司以中科院纳米所的研究平台和技术团队为技术依托，整合华林伟业在相关行业多年的设备制造经验，研发生产中半导体设备。公司以品质为根本，以创新为突破点，走设备研发和工艺研究相结合的道路，使设备能够满足和较早的工艺。公司的研发团队由张宝*士、王敏瑞博士、张永红博士等十多名在半导体、太阳能光伏及液晶行业有多年设备和工艺经验的专业人士组成。
平板式硅片清洗机 产品信息
