适用于2″~8″硅片的腐蚀1．本设备为柜体式腐蚀机，整台设备均采用进口件。2．基本材质：箱体材质：德国磁白色聚丙烯（PP）；门板材质：德国透明聚氯乙烯（PVC）；腐蚀槽材质：德国自然色聚偏二氟乙烯（PVDF）；清洗槽材质：德国自然色聚丙烯板（NPP）；3．本设备的腐蚀槽和清洗槽间的转换由进口SEW驱动，以迅速实现两槽之间的硅片转换。4．腐蚀槽配有美国聚四氟乙烯加热器、虹吸上排、传感器。5．清洗槽配有溢流装置，和N2鼓泡装置。6．整机外型美观、实用。
苏州华林科纳半导体设备技术有限公司由*苏州纳米技术与纳米仿生研究所与北京华林伟业合资成立。总投资4500万元。主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制程设备、真空设备等的研发、技术推广和生产销售。
公司以中科院纳米所的研究平台和技术团队为技术依托，整合华林伟业在相关行业多年的设备制造经验，研发生产中半导体设备。公司以品质为根本，以创新为突破点，走设备研发和工艺研究相结合的道路，使设备能够满足和较早的工艺。公司的研发团队由张宝*士、王敏瑞博士、张永红博士等十多名在半导体、太阳能光伏及液晶行业有多年设备和工艺经验的专业人士组成。
半导体器件设备-单晶腐蚀通风柜 产品信息
