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微纳(香港)科技有限公司
Ø产品简介 Ø产品特性 • 落地式薄膜沉积系统,模块化设计 • 多达6个磁控溅射源,DC与RF可选,用于金属及绝缘层镀膜,溅射靶角度连续可调,可独立/依次/共同溅射 • 多达10个热蒸发源,电阻热蒸发源与低温热蒸发源可选,用于金属及有机物镀膜 • 多坩埚电子束源,用于难熔金属或者蒸汽压低的金属材料 • 标配预真空锁,实现高真空环境下的样品传递 • 可支持11英寸样品 • 样品台:可加热(800℃),冷却,旋转,升降,偏压,行星式衬底夹具 • 可加4路反应气体,Ar,N2,O2可选配有MFC控制 • 配置高精度真空规进行压力全自动控制,真空度低至 <5 × 10-7 mbar • 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测 • 操作简单:通过触屏或计算机实现全自动操作 • 自定义并可存储多个recipe • 操作安全:自带各种软硬件互锁功能 • 售后维护简单 • 兼容手套箱与洁净间 • 可选配离子源:用于样品预清洗及纳米表面改性 • 可选配高温退火系统 Ø应用: 该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
MiniLab125是英国MOORFIELD公司一款落地式大尺寸PVD综合镀膜系统,采用模块化设计,可在一台仪器上实现电子束蒸发镀膜,常规电阻热蒸发镀膜,低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜,有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜,同时该系统还可加载等离子源,刻蚀系统与退火系统,是小批量镀膜客户的理想选择。
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