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微纳(香港)科技有限公司
Ø产品简介 MiniLab026是英国MOORFIELD公司一款落地式高性能科研级PVD综合镀膜系统,采用模块化设计,可在一台仪器上实现常规电阻热蒸发镀膜,低温热蒸发系统及磁控溅射镀膜,可用于镀金属膜,有机物薄膜及绝缘材料的单层或者多层功能膜与复合膜,同时还可搭载等离子刻蚀机退火模块,该系统被国际上许多学术团队采用,是科研用户PVD的理想选择。 Ø产品特性 • 落地结构,模块化设计 • 可选择DC与RF两种磁控溅射源,用于金属及绝缘层镀膜,溅射靶角度连续可调,可独立/依次/共同溅射 • 可选择电阻热蒸发源,低温热蒸发源,用于金属及有机物镀膜 • 可选配等离子刻蚀机及高温退火装置(1100℃) • 可支持6英寸样品 • 兼容手套箱 • 可加3路反应气体,Ar,N2,O2可选配有MFC控制 • 配置高精度真空规进行压力全自动控制,真空度低至 <5×10-7 mbar • 配置Inficon SQC-310膜厚测量仪用于薄膜厚度监测 • 操作简单:通过触屏或计算机实现全自动操作 • 自定义并可存储多个recipe • 操作安全:自带各种软硬件互锁功能 • 可选加热样品台,温度500℃,精度+/-1℃ • 可选旋转样品台 • 售后维护简单 Ø典型结构 • 金属薄膜与绝缘层蒸镀:配置2个磁控溅射源 • 金属薄膜蒸镀:配置3个电阻高温热蒸发源 • 有机薄膜与金属薄膜同时蒸镀:配置2个电阻高温热蒸发源与1个LTE低温热蒸发源 Ø应用 该系统用于半导体材料、OLED实验研究及有机太阳能薄膜电池实验研究。广泛应用于高校、科研院所的薄膜材料的科研与小批量制备。
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