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样品容量:全200mm晶片、150mm晶片、晶片碎片和短柱安装样品
CS4800提供高质量的SEM成像、改进的测量精度以及快速、自动化的操作,旨在提高现有生产线的生产力和运营效率,并提高客户的过程控制能力
SEMVisionG2的检测组装和处理使微小和浅缺陷的高质量地形图像成为可能
Surfscan®SP2和SP2XP系统是KLA革命性的SurfscaP1平台的第二代产品,用于无图案晶圆检测
200kV相差校正TEMTEM,平衡了空间分辨率和倾斜、分析性能通过单极片实现0.078nm的STEM空间分辨率和高样品倾斜度、高立体角EDX
专用扫描透射显微镜HD-2700,配备了与德国CEOSGmbH公司(总经理MaxHaider先生)共同开发的球差校正仪,显著提高了扫描透射电子显微镜的性能,更适...
"RuliTEM"120kV透射电子显微镜系列
现有机型SU8240,SU8230,SU8220及SU8010重新整合,衍生而成Regulus8240、Regulus8230、Regulus8220、Regu...
一、设备用途:用于半导体样品的形貌、结构研究及样品的元素分析
特征尺寸测量用扫描电子显微镜CD-SEMS-8840,适用于6英寸和8英寸晶圆的线宽测试
日立CD-SEM二手现货扫描电镜S-9220适用于8英寸晶圆的监测,CD检测范围0.1~2.0μm,吞吐量45wph,放大倍数1000~300,000
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