特征尺寸测量用扫描电镜CD-SEM S-8840-青岛佳鼎分析仪器有限公司

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更新时间：2023-02-24 16:28:26浏览次数：84次

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特征尺寸测量用扫描电子显微镜CD-SEM S-8840，适用于6英寸和8英寸晶圆的线宽测试。

设备配置

晶片尺寸：6、8 英寸（直径：150mm 200mm）

晶片厚度：0.4mm~1mm 兼容

硅片单元尺寸：0.2~2inch

卡匣：25 片/批次

电子枪 Electron Gun

真空腔室 Vacuum Chember

真空泵 Vacuum Pump

透镜系统 Lens System

X-Y 工作台（X-Y Workplate)

承片台 8 寸 (Pick-up platform 8 inches )

硅片传输系统 8 寸 ( wafer transmission system 8 inches)

硅片自动对准系统（wafer Auto alignment system）

操作界面, 主控过程人机操作界面 ( Operating Interface, Man-machine Operating Interface of Main Control Process )

计算机系统,整机主控计算机和系统控制应用程序(Computer System, Main Control Computer and System Control Application Program )

监视器, 图形和控制界面显示( Monitor, Graphics and Control Interface Display)

设备性能

图像分辨率：5nm2

CD 量测范围：0.1 ~ 10um

CD 重复性： 3σ≤5 nm or ≤±1 %

倍率： x 1000 ~ 150000 (SEM 图像)； x 110 （光学显微镜图像)

焦深：≥1.0mm at 80000xmagnification

高纵横比接触孔图像≥12

CD-SEM S-8840

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