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TPY-1 型椭圆偏振测厚仪

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天津市拓普仪器有限公司
2006-05-31 10:01:59
天津市拓普仪器有限公司
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【简单介绍】

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。

【详细说明】

在近代科学技术的许多领域中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此，更加精确和迅速的测定给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要。在实际工作中可以利用各种传统的方法测定光学参数，如：布儒斯特角法测介质膜的折射率，干涉法测膜厚，其它测膜厚的方法还有称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。由于椭圆偏振法具有灵敏度高、精度高、非破坏性测量等优点，因而，椭圆偏振法测量已在光学、半导体、生物、医学等诸多领域得到广泛应用。

产品特点：

仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率，具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点；

光源采用氦氖激光器，功率稳定、波长精度高；

仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件，方便用户使用。

规格与主要技术指标：

测量范围：薄膜厚度范围：1nm-300nm；折射率范围：1.05-2.50

测量zui小值：≤1nm 入射光波长：632.8nm 光学中心高：80mm

允许样品尺寸：φ10-φ140mm，厚度≤18mm

偏振器方位角范围：0°- 180°读取分辨率为0.05°

外形尺寸：680＊390＊320mm

测量膜厚和折射率重复性精度分别为：±0.5nm和±0.005

主机重量：25kg 入射角连续调节范围：30°- 90°精度为0.05°

成套性：主机、电控系统、计算软件


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