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高级氧化臭氧预氧化段可提高水质透过率(UVT)并降解部分COD，同时将部分难降解大分子物质分解为小分子物质便于进一步氧化处理；反应段主要利用UV光催化系统，激发H2O2及O3产生具有*氧化性的羟基自由基，提高反应速率，可将难降解有机物质氧化，发生断链、开环等多种反应，进一步降低COD。
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