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PSM等离子体质量和能量分析质谱仪

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更新时间：2024-03-06 07:28:13浏览次数：33次

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产品简介

产品介绍INTRODUCTIONPSM是一台差式泵质谱仪（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子

详细介绍

PSM是一台差式泵质谱仪（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等离子过程中的二次离子和中性粒子。
差式泵歧管，通过法兰与过程反应室连接
电子附着选件，具有可调谐的离子源，用于表观电势MS
Penning规和互锁装置可提供过压保护
信号选通分辨率1μs，用于研究脉冲等离子体或能量、质量分布VS时间
标准分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 离子分析可选
灵敏度高 / 极稳定的3级过滤四极杆
质量数范围：0 ~ 2500amu
脉冲离子计数检测器，7个数量级的动态范围
能量分析选件，标准 ±100eV（1000eV可选）
Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可选，高压操作可选
通过RS232、RS485或Ethernet LAN ，软件MASsoft 控制