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Hiden HPR30过程气体分析质谱仪

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产品简介

特点FEATURES简洁的桌上型

详细介绍

特点FEATURES

简洁的桌上型，移动推车或控制台架结构
Direct re-entrant流孔板，差式泵，以达到宜的灵敏度
连续取样从10-4mbar至1mbar.
高灵敏度（可至5ppb），质量数可选至1000amu
软离子化技术，分析复杂有机物，或表观MS研究
稳定性好(24h之上，峰高变化小于±0.5%)
MASsoft软件控制，或由局域网进行多个系统控制
气动阀自动控制；出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
自动、同时数据取得、分析，实时显示、报警

应用APPLICATIONS

CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
真空涂覆/ 等离子刻蚀
沉积溅射
污染物研究
基本压力辨别
泄漏探测/ 实质泄漏/脱附分析
除气/烘烤/泵效能
反应室/过程气体污染物

规格参数SPECIFICATION

HPR-30真空过程气体分析系统(Process Gas Analyser)，适用于监测分析残余气体和真空工艺过程中的气体组成及变化。

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