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产品型号
品 牌
厂商性质其他
所 在 地南京市
更新时间:2024-05-09 10:07:46浏览次数:7次
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经营模式:其他
商铺产品:15条
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微波等离子化学气相沉积技术(PECVD、MPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度
微波等离子化学气相沉积技术(PECVD、MPCVD),通过等离子增加前驱体的反应速率,降低反应温度。适合工业生产处理,实验室研究开发.....
微波等离子体的#势:
1、有较高的电离和分解程度
2.电子温度和离子温度对中性气体温度之比非常高,运载气体保持合适的温度。这个特性,可使基底的温度不会过高。
3.能在高气压下维持等离子体。
4.在等离子容器内,没有工作气体以外的任何物质,是洁净的,
5.安全因素高。高压源和等离子体发生器互相隔离,这是直流等离子体不能达到的。
微波技术参数
微波频率:2.45GHz
微波功率:1-3KW
控制方式:PLC控制
专业生产厂家专研技术支持,特殊工艺要求支持定制。
微波等离子化学气相沉积技术
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