半导体超纯水设备

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更新时间：2024-01-01 10:04:07浏览次数：117次

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  摩尔工程水处理设备

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重庆摩尔水处理设备有限公司

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商铺产品：4条

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产品简介

详细介绍一、技术要求产水压力：0

详细介绍

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一、技术要求

产水压力：0.4MPa

产水水质：按ASTM D5127-2013 E-1.1级的水质标准

产水水质标准

序号	名称	单位	数据	备注
1	电阻率（25℃）	MΩ.CM	18．2
2	TOC	μg/L	2
3	溶解氧	μg/L	10
4	蒸发残渣	μg/L	0.5
5	在线颗粒/升（微米）
6	0.05～0.1	个	1000	在线监测
7	0.1～0.2	个	350	在线监测
8	0.2～0.5	个	＜100	在线监测
9	0.5～1.0	个	＜50	在线监测
10	1.0	个	＜20	在线监测
11	SEM颗粒检测/升（微米）
12	0.1～0.2	个	700

13	0.2～0.5	个	400
14	0.5～1.0	个	50
15	10	个	＜30
16	细菌/100mL
17	100mL取样	个	3
18	总硅	μg/L	3
19	溶解硅	μg/L	1

运行要求：年连续运转8000小时

管阀材质：采用进口PVDF超纯型管道阀门，热熔对焊。

二、产品性分析

设备回收率：EDI装置回收率≥90%，EDI浓水全部回流至厂区除盐水系统原水箱。

设备控制：采用PLC+上位机全自动运行方式，同时可手动运行，系统带自检功能，声光报警。系统运行参数可存储，可打印。正常运行为自动，检修为手动，可实现无人值守。系统运行实况可于在线流程模拟屏上实时显示，如水箱液位的具体高度，增压泵出口压力，产水流量，EDI产水电阻率，产水流量，抛光混床产水电阻率、产水流量以及终端产水电阻率、在线监测微粒数等参数。

供水方式：超纯水系统供水采用不间断循环供水方式，回路设计背压阀保持循环量。

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