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主动隔振光学平台

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主动隔振光学平台
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更新时间：2023-01-14 14:04:23浏览次数：160次

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详细信息

主动隔振光学平台RXGD-MO系列技术指标：
 

• 固有频率：0.5-100Hz
• 自动平衡，相应时间短，平衡速度快
• 钢制真蜂窝结构,：0.25mm厚箔
• 蜂窝芯尺寸 ：3.2cm2 (0.5 in²)
• 表面平整度：±0.1mm (±0.004 in.) /600 mm² (2 ft.)
• 上台面 ：4mm厚度430 系列高导磁镍合不锈钢
• 下地面 4.5厚碳钢，表面氧化处理
• 边墙板 2.0mm厚碳钢。包裹高阻尼聚乙烯材料
• 孔径： M6 (英制螺孔可选)
• 孔距：25mmX25mm(英制孔距可选)，*外边孔距平台边缘37.5mm
• 螺孔密封：每个螺纹孔下方设有柱形隔离杯密封，方便清洁
• 阻尼隔振方式：宽带阻尼
 

RXGD-M系列主动隔振器参数表： 

型号 RXGD-M1000 RXGD-M2000 RXGD-M3000
尺寸 隔振器(mm) 215x215x180 232x232x180 308x308x180
控制器(mm) 334x357x120 334x357x120 334x357x120
*大负载(kg) 1500-3500 1500-3500 1500-3500
重量(kg) 15 15 15
驱动方式 电机驱动
隔振自由度 6个自由度
隔振效率 95%-99%at 10Hz
回复时间 <0.5Sec
驱动器推力 竖直>20N,水平>40N
输入电压 AC 85-264/50-60Hz
功率消耗 峰值功率110W,稳定功率50W
空气压力 大于0.5Mpa
环境要求 温度℃ 5-50°C
湿度 20%-90%
主动隔振频率范围 0.5-100Hz
初始水平调整 自动调整
系统配置 4个隔振器包含控制箱

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