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不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱

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上海隽思实验仪器有限公司

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产品简介

不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱应用范围不锈钢无尘烤箱应用于目前关键的半导体电子行业（如硅片干燥，坚膜烘烤，装片机后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序

详细介绍

不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱应用范围
不锈钢无尘烤箱应用于目前关键的半导体电子行业（如硅片干燥，坚膜烘烤，装片机后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，双层无尘烘箱还在LED制造行业中用于烘烤玻璃基板、无机材料行业中用于材料高精度工序。也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、MEMS、智能传感器、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。
不锈钢无尘烤箱，双层无尘烘箱技术性能
内腔尺寸：300*300*300；450*450*450；500*600*700；800*800*900......定制尺寸；
腔体数量：1-8个可选，每腔单独控制；
材质：内箱：SUS304不锈钢或SUS316不锈钢，外箱材质：冷轧板喷塑，或304不锈钢；
操作系统：LED数字控制，多彩触摸屏式控制，人机界面+PLC控制，自动化智能控制（MES）等；
无尘等级：Class 100；
无氧功能：≤20PPM；（选配）
辅助降温功能：风冷、水冷；（选配）
工业智能系统：MES系统、SECS / GEM系统；（选配）
扫码枪：作业时扫码可实现自动调取所需作业程序；
温度范围：RT+10～200、300℃、450℃；
温度均匀度：≤±2%℃；
温度波动度：±0.5℃（空载）；
温控精度：±0.1℃；
进气口：φ8mmN2进气；
排风口：耐高温不锈钢排风口；
电源：380v , 50Hz三相五线制。