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抗粘剂蒸镀机,抗粘层镀膜机的应用:纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术,其能够把纳米图形从模板“复制"到基片上,具有产量高、成本低和工艺简单的优点
抗粘剂蒸镀机,抗粘层镀膜机的应用:
纳米压印是一种不同于传统光刻技术的全新图形转移技术,其能够把纳米图形从模板“复制"到基片上,具有产量高、成本低和工艺简单的优点。为实现一些特殊形状的压印,需要提供一种具有纳米结构的弹性模板。 为了制作纳米压印弹性模板,一般是提供一具有纳米压印结构的母板,继而将纳米压印胶均匀地涂覆到沉积了抗粘层的母板上,然后再在纳米压印胶层远离母板的一侧涂覆形成有一弹性支撑层,在弹性支撑层固化后,将弹性支撑层与母板分开。
在基片与弹性支撑层之间还形成有抗黏层,抗黏层一般由全氟辛基三氯硅烷或全氟癸基三氯硅烷形成。然而抗粘剂的蒸镀,尤为重要。
抗粘剂蒸镀机,抗粘层镀膜机技术性能:
腔体尺寸:350×350×350、450×450×450、600×600×600(mm)可自定
材质: 316L级不锈钢
温度范围:80-250℃
温度分辨率: 0.1℃
温度波动度: ≤±0.5
真空度:≥1torr
真空泵:干泵
电源及总功率:AC 220V±10% / 50HZ , 2.5KW
控制方式:人机界面+PLC智能
辅助气体: 氮气(N₂)
抗粘剂:一路或2路
镀膜方法:气相成底膜
抗粘剂蒸镀机,抗粘层镀膜机的特点:
镀膜处理更加均匀;
时间短,效率高;
更加节省抗粘剂;
更加环保和安全;
自动吸取抗粘剂。
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