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小型快速退火炉\红外灯管加热炉

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$小型快速退火炉\红外灯管加热炉$

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更新时间：2023-04-07 09:09:05浏览次数：101次

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洛阳西格马高温电炉有限公司

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产品简介

小型快速退火炉应用：小型快速退火电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温

详细介绍

小型快速退火炉应用：

小型快速退火电炉采用红外灯管加热，通过滑动炉体实现快速降温。红外线灯管是填充气体内含有部分卤族元素或卤化物的充气白炽灯。这种红外灯管加热元件是为滑轨炉设计的,升温速率可达到120℃/S。
应用于半导体或太阳能电池基片退火。也可用于快速热退火、快速热氧化、快速热氮化、硅化物合金退火、电极合金化、氧化物生长、离子注入后退火、薄膜沉积等工艺试验.

小型快速退火炉特点：

小型快速退火电炉可在真空/气氛/空气等不同环境下通过快速移动炉体，加之强风冷设计，可对样品进行快速升降温处理；管内测温设计，
温控精度高,额定升温速率50℃/s;紧凑的台式设计，快速连接法兰，减少了炉管因安装造成损坏的可能，方便操作。

小型快速退火炉参数：

产品名称	RTP-小型快速退火炉
额定功率	9KW
额定电压	220AC 50/60Hz
额定温度	1000°C
连续工作	950°C(<1 小时)
加热区长度	300mm
恒温区长度	100mm
加热元件	红外灯管
温度控制	国产程序控温系统可编程50段程序控温；
控制精度	±1℃
石英管尺寸	Φ110*380MM
炉管材质	石英管
滑动距离	355mm
滑动方式	手动滑动
建议升温速度	室温900℃：30℃/sec 900℃~1000℃： 10℃/sec
外形尺寸	950 X 350 X 530 mm
重量	45Kg
标准配置	气路一套（含真空压力表）石英管一支、高温手套一副。76MM的样品石英架一个。