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更新时间:2022-12-21 17:52:02浏览次数:96次
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商铺产品:8条
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联系人:张先生
产品描述:快速退火炉 在线订购
真空快速退火炉(RTP) 真空快速退火炉(RTP)一般都是以红外卤素灯为发热元件,升温速度极快,采用热电偶测温并采用的PID控制,具有很高的控温精度,快速退火炉具有真空装置,可在多种气氛下工作。大大提高了其使用范围。 仪器规格: 加热方式:红外卤素钨灯; 样品尺寸: 2--6寸,单片; 温度: 1200度; 工作气体:最多3路气体(MFC控制),可通入氧气,氮气及惰性气体; 极限真空:5e-3torr; 真空泵:机械泵(可选配分子泵,干泵); 工艺控制:手动工艺控制; 循环水冷却,提高降温速度; 结构紧凑,经济实惠。 应用: 快速热升温工艺(热退火); 薄栅氧化(纳米器件); 低熔点压焊(反应金属压焊); 硅化物构造; 硅化物界点构造等。
快速退火炉
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