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上海续波光电技术有限公司
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关键词：SiO2、AlN、Al2O3、介电膜、刻蚀、电子枪、离子枪、氧化铝、氮化铝、二氧化硅型号：MEB400S
关键词：SiO2、AlN、Al2O3、介电膜、刻蚀、电子枪、
离子枪、氧化铝、氮化铝、二氧化硅
型号： MEB400S， 产地：欧洲 应用：沉积介电薄膜（SiO2, AlN, Al2O3等）
用于介电质膜层沉积，例如SiO2，Si3N4，Al2O3
样品台双行星转动，可加载4英寸衬底
配备Load Lock和主腔体
真空系统：采用低温泵/分子泵+干泵
10kW电子束源，多枪
样品台可加热
配备离子枪，可对样品进行清理和刻蚀
配备氩气、氮气气路和MFC
全自动电脑控制系统，半自动和手动可用
支持远程维护、操作、监控
典型用户：格拉斯哥大学
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