TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修 返回列表页

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修

半导体专用温控装置（Chiller）主要用于半导体制程中对反应腔室温度的精准控制，主要由热交换器、循环泵、压缩机和控制系统构成的一个自我平衡的循环装置，属于生产过程中的温控设备。在常规PID控制算法的基础上加入了预测控制技术和自适应控制技术，并采用变频控制及两级闭环节能控制，显著地提高了Chiller的稳定性、控制精度和响应速度。

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

应用于半导体行业蚀刻装置，CMP（工艺机械抛光）， 实验室精密装置、 高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。

变频控制，智能PID控制
预测控制及自适应控制
模块化功能定制，高效节能
两级闭环节能控制

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水机维修 应用领域

激光加工、印刷设备、清洁设备、焊接设备、高分析仪、LCD制造设备、模具温调、高频感应加热设备、X射线（数字式）设备等

zonglen半导体器件高低温测试设备chiller

温度范围：-20°C~+90°C

控温精度：±0.1℃

触摸屏操作，人机交互界面

连锁控制、可靠性高

定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能

温度波动小

半导体冷却装置Chiller是专为半导体、元器件、芯片等产品的高低温温度模拟测试而设计的控温设备，在生产流程中发挥着至关重要的作用。该装置运用PID控制算法和自适应控温技术，其核心组件包括热交换器、循环泵以及压缩机等，确保了温度控制的精确与稳定。