导电橡胶电阻率测试仪电流测量范围为20×10-3A～1×10-15A（10fA～20mA）
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准确度:（温度：18℃～28℃，相对湿度<70%）
优于0.5～1% 读数 +5字 （10-5～10-10量程）
优于1～2% 读数 +5字 （10-11～10-14量程）
优于1～2% 读数 +5字 （10-4量程）
使用环境: 温度：10℃～40℃，相对湿度<90%
导电橡胶电阻率测试仪电压表输入阻抗会引入测试误差。 硅片几何形状，表面粘污等会影响测试结果。
电流换向开关将金属接触装置放在电极上，测量电阻值，对橡胶粘接或固定到金属部件上的制品的试验
试验步骤 清洗使用硅藻土和水的青剂擦洗制品表面并用蒸馏水冲洗，然后在标准试验温度下于燥，不得额状或者损试验表面。
是否进行了机械调节，如果进行了机械调节，记录控伸的细节 任何本标准中未提到的幅节，试验结果;
机械调节在制品生产后和测试之前或在收到制品后和测试之前的时间间隔内，制品应进行以下任一种调节， a） 在室温下，制晶无变形、不进行任何拉伸
范围本标准规定了用直排四探针测量硅外延层、扩散层和离子注入层薄层电阻的方法。
光照、高频、需动、强电磁场及温醒度等测试环境会影响测试结果，电极的应用按第8 章的规定，在制品上施加符介所规定的适当的电极和金属接触装置
导电橡胶电阻率测试仪探针（带有弹簧及外引线）之间或探针系统其他部分之间的绝缘电照至少为10°Ω. 探针排列和间距，四探针应以等距离直线排列，探针阀距及针突状况应符合 GB/T 552中的规定。
标准电阻;按表2的薄层电阻范围选取所需的标准电，精度0.05 级
粘接或固定到一个金属部件上的制品的试验在测试大制品时，通过协商，允许采用工厂、仓库或实验室通常存在的条件，相对醒度不应题过70%。
电极与接触装置除非另有规定，一般通过导电银涂料、胶体石墨或导电液在制品表面形成电极。
双刀双撑电位选择开关。两端都带有接头的胶管的试验测试两个接头之间的电阻。
甲醇，99.5%。 干燥氮气。测量仪器探针系统操针为具有45"～150°角的圆罐形破化鸭振针，针实半径分别为35 μm~100μm.100 μm~
测试产品的数量， 单个试验结果; 试验结果的平均值， 测试日期。
把一个电极放在制晶的工作表面上，电极尺寸为边长近似于25 mm的正方形，电极不应题伸到其将金属接触装置放在电极上，测试接触装置与粘接或困定的金属闻的电阻， 粘接或固定到两个金属部件之间的制品的试验
250 μm 的半球形或半径为 50 μm~125 μm 的平的圆截面。
下列文件中的条款通过本标准的引用商成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的醉新版本。凡是不注日期的引用文件，其醉新版本适用于本标准。 GB/T 1552 硅、储单晶电阻率测定 直排四探针法
本标准适用于测量直径大于15.9mm的由外延、扩散、离子注人到硅片表面上或表面下形成的薄层的平均薄层电阻。硅片基体导电类型与被测薄层相反。适用于测量厚度不小于0.2 μm的薄层，方块电阻的测量范围为10A~5000n.该方法也可适用于更高或更低照值方块电阻的测量，但其测量精确度尚未评估。
将金属接触装置放在电极上，测量内表面和3=处外表面电极间的电阻R，及内表面与sm处外表面电极间的电阻R。只要这两个读数不超过10'a，R，和R，之差即被认为是3m长管的电阻，如果读数超过10'A，应仔细检查所有电慢，确保及有同制品电阻并联的杂数泄漏电流通道，并且胶管网环带电极之间不会发生导电接触，重新进行试验。
b） 将制品捡伸一次，拉伸至正常使用时的大变形;然后在标准实验室度下调节.直，两种方接山相b）调节后测试的结果将不同，调节方装的志择度有美产些标准确定.
探针与试样压力分为小于0.3 N及0.3 N~0.8N两种。
电位差计和电流计或数字电压表，量程为1mV~100mV，分辨率为0.1%，直流输入阻抗不小
使用的试验方法标准;使用的特殊程序的细节（见第s章）。使用的标准实验室温度和相对湿度; 试验前进行两节的时间、温度和相对湿度;如果不是在标准实验室温度下进行试验，记录试验温度和相对湿度，电极材料和电极尺寸; 电极间的距离;
干扰因素探什材料和形状及其和硅片表面接触是否满足点电流源注人条件会影响测试精度。
试验报告应包括以下内容，样品及来源的详细播述。试验方法;
试剂，优级纯，纯水，25 ℃时电阻率大于 2 MN·cm。
样品台和操针架样品台和探针架应符合 GB/T152 中的规定。 样品台上应具有旋转 360"的装置。其误差不大于士5"，测量装置测量装置的典型电路叉图1，
恒意源，按表1的*值提供试样所需的电流，精度为±0.5%.
GB/T 11073 硅片径向电阻率变化的测量方法提要
导电液的组成如下∶——无水聚乙烯乙二醇（相对分子质量 600）;800质量份;——水，200o质量份;———任何一种合适的润醒剂;1 质量铅;-氧化钾;10 质量份。
施加于制品上的电压会影响电阻的测量值，电压太低可能产生较大的误差。在有争议的情况下，其电压不应低于40 V;但当满足在制品上消耗的功率不大于3W的要求时，电压可低于40 V。
使用直排四探针测量装置、使直流电流通过试样上两外探件，测量两内操针之间的电位差，引人与试样几何形软有关的修正因子，计算出薄层电阻。
试验仪器的测定电阻误差应小于 10%，在制品上消耗的功率应不大于3 W。
准确度：±（0.5％读数＋2字）
BEST-13型静电计技术指标
绝缘板 ≥100TΩ.m (1014Ω.m)
电源：220VAC、50HZ 10W
电压电极距离：20mm 重量：331g, 压力约为 3.25 N
漂 移：时间漂移：24小时小于0.5%;温漂小于0.05%/℃
输入阻抗：1×1014Ω（100TΩ）
尺寸：220mm×230mm×80mm
测量范围：DC±200mV—±200V,采用电阻分压或电容分压可扩大测量范围。
质量：2KG
电流电极距离：100mm
测量原理：本仪表采用*输入阻抗的高性能集成电路做输入级，输入阻抗大于 1×1014Ω
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