一、半导材料电阻率测试仪适用范围

四端测试法是目前较*之测试方法，主要针对高精度要求之产品测试；本仪器广泛用于生产企业、高等院校、科研部门，是检验和分析导体材料和半导体材料质量的一种重要的工具。

本仪器采用4.3吋大液晶屏幕显示，同时显示电阻值、电阻率、方阻、电导率值、温度、压强值、单位自动换算，配置不同的测试治具可以满足不同材料的测试要求。测试治具可以根据产品及测试项目要求选购.

提供中文或英文两种语言操作界面选择，满足国内及国外客户需求

二、半导材料电阻率测试仪技术参数

1. 测量范围、分辨率（括号内为拓展量程，可定制）

电    阻：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³  Ω,    分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω

        （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³  Ω,    分辨率0.1×10^-6 ～ 0.01×10³ Ω）

电 阻 率：10.0×10^-6 ～ 200.0×10³ Ω-cm   分辨率1.0×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω-cm

        （1.0×10^-6 ～ 20.00×10³ Ω-cm  分辨率0.1×10-6 ～ 0.01×10³ Ω-cm）

方块电阻：50.0×10^-6 ～ 1.0×10⁶ Ω/□    分辨率5.0×10^-6 ～ 0.5×10³  Ω/□

        （5.0×10^-6 ～ 100.0×10³ Ω/□  分辨率0.5×10^-6 ～ 0.1×10³  Ω/□）

2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)

直    径： SZT-A圆测试台直接测试方式 Φ15～130mm，手持方式不限

SZT-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm，手持方式不限.

长(高)度：  测试台直接测试方式 H≤100mm,    手持方式不限.

1. 量程划分及误差等级

4. 数字电压表：

⑴量程： 20.00mV

⑵误差：±0.2%FSB±2LSB

⑶大分辨力：1.0µV

显示: 4位数字显示，小数点自动显示

5. 数控恒流源

⑴电流输出：直流电流0.1µA～1.0A，系统自动调整。

⑵误差：±0.2%FSB±2LSB

6. 四探针测试探头：

有选配的型号确定，详见《不同半导体材料电阻率/方阻测试的四探针探头和测试台选配方法》

7. 电源：

功 耗：< 15W，输入:220V±10%   50Hz±2%

8. 本仪器工作条件为：

温    度：    0-40℃

相对湿度：    ≥60%

工作室内应无强电磁场干扰，不与高频设备共用电源。

9. 外形尺寸：

主机  245mm（长）×220 mm（宽）×95mm（高）

三、工作原理

*****电阻率与方阻概念******：

电阻率：当某种材料截成正方体时，平行对面间的电阻值只与材料的类别有关，而与正方形边长无关，这种单位体积的阻值可反映材料的导电特性，称为电阻率（体电阻率），记为：ρ，标准单位：Ω-m,常用单位Ω-cm.

方块电阻：薄膜类导体、半导体材料截成薄层正方形时，平行对边间的电阻值只与材料的类别（电阻率）和厚度有关，而与正方形边长无关，这种单位面积的对边间的阻值可反映薄膜的导电特性和厚度信息，称为方块电阻，简称方阻。记为：R□，标准单位：Ω/□

四、使用方法

BEST-300C测试仪能够测量半导体材料体电阻率ρ、方块电阻（薄片电阻率）R_口以及体电阻R，测量时需调整相应的修正系数和选择相应的功能。

本产品不但提供了电阻率ρ、方块电阻R_口以及体电阻R测试的基本修正系数设定，还提供了产品厚度G、外形和测试位置的修正系数D设定，*的提高了测试精度。测试类别的快捷选择方式，方便了用户同时测试多个参数，提高测试效率。