目前我国电子工业部把电子级水质技术分为五个行业等级，分别为18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm，以区分不同水质。

设备组成：

通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用*和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。

应用范围：

半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水;

超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水;

实验室和中试车间用超纯水;

汽车、家电表面抛光处理;

光电子产品;

其他高科技精微产品。 

大规模集成电路元器件的生产用水，一般电阻率均大于18MΩ·CM。

水质标准：

按国家有关用水标准(GB/T11446.1-1997)执行。

电子元件厂，在焊接和组装过程中的冲洗用水。依据电子元件生产工艺不同，其用水标准中(即GB/T11446.1-1997)有可为四级(一级zui高电导率18MO·CM以上，二级电阻率不低于15MΩ·CM，3级电阻率12MΩ·CM, 4级为0.5MΩ·CM)。