产品展示
爱德华EH1200 罗茨真空泵真空泵
【简单介绍】
【详细说明】
概述
EH 机械增压泵以简单的罗茨泵原理为基础,仍是的泵,可用于压力范围为 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的应用场合。此泵必须始终由另一个提供相对于大气压的高压差的泵作为前级。
机械增压泵在相对较低的压力下工作,不会暴露在与前级泵相同浓度的腐蚀性制程介质下,因此高度可靠。
应用
半导体制程、真空蒸馏、真空包装、钢脱气、薄膜覆层、真空冶金、低密度风洞、空间模拟、真空浸渍、油干燥和脱气、制药冷冻干燥、CO2 激光
功能和优势
适用于在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的压力范围下、需要超过 3000 m3h1/1776 ft3min-1 的高抽速的应用场合。
它可在相对较低的压力环境下表现出更高的可靠性。
EH 泵具有高质量的无油泵送机械装置。这可提供:
安静的无振动运行。
牢靠且防腐蚀。
*的轴封技术,处理舱中不会出现油污染
防腐型泵送机械装置采用高等级铸铁制造。
经验证的轴封布置可确保没有油进入泵送定子,并且由于不需要可能腐蚀或黏着的内部和外部旁通管道及阀门,因此可将维护要求降到。
轴封的设计经过优化,可确保润滑剂无法进入泵送机械装置中。这可在需要标准清洁程度的应用中保持增压泵性能。此外,这可防止在公差非常严格的转子叶和端面上堆积吸入的微粒。
动态平衡的转子和精密研磨齿轮有助于实现泵的平稳、运行噪音小,而这些特点正是*技术设备的制造商所需要的。
相关产品
- 爱德华真空泵RV52
- 爱德华E2M0.7真空泵2
- 爱德华真空泵RV122
- 爱德华真空泵E2M802
- 爱德华真空泵E2M2752
- 爱德华真空泵RV82
- 爱德华XDS5涡旋式真空泵2
- 爱德华XDS10涡旋式真空泵2
- 爱德华真空泵E2M1752
- 爱德华真空泵E2M402
- 爱德华E2M28真空泵2
- 爱德华真空泵RV32
- 爱德华真空泵RV系列2
- 爱德华真空泵E2M1.5
- 爱德华罗茨真空泵EH1200
- 爱德华真空泵E2M18
- 爱德华真空泵RV系列
- 爱德华真空泵RV3
- 爱德华E2M28真空泵
- 爱德华真空泵E2M40
- 爱德华真空泵E2M175
- 爱德华EH1200 罗茨真空泵真空泵
- 爱德华XDS10涡旋式真空泵
- 爱德华XDS5涡旋式真空泵
- 爱德华真空泵RV8
- 爱德华真空泵E2M275
- 爱德华真空泵E2M80
- 爱德华真空泵RV12
- 爱德华E2M0.7真空泵
- 爱德华真空泵RV5