产品展示
日本KOFLOC DF250C系列质量流量控制器
【简单介绍】
【详细说明】
日本KOFLOC DF250C系列质量流量控制器设计精密,精度高,速度快成本较低。广泛用于不同的领域,从实验室和研究开发项目到各种分析仪器、真空装置、半导体设备、环境环保仪器、燃烧焊接、新能源设备、生物医疗 等等的标准采用机种,发挥了很好的实际效果。
产品特色:
通过采用热式原理的全新芯片流量传感器,实现快速回应。
通用的常闭型阀门确保了安全
标配RS485通讯,数字信号保证了控制的精确性,不受外界干扰
技术参数:
流量FS(N2换算):10SCCM-300SLPM
气体种类:所有气体
传感器类型:热式芯片传感器
阀门类型:电磁比例阀,常闭
控制范围:2%-99%
控制速度:1秒以内(0-50SLM)、1.5秒以内(100-150SLM)、2秒以内(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重复性:±0.25%FS
工作差压:50-350Kpa
使用温度:0-50℃
允许湿度:0-90%
泄漏率:为1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
产品材质:主体-SUS316
密封圈:Viton
可另选:PTFE、氯丁橡胶,丁腈橡胶NBR
管路接头:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另选:VCR、RC螺纹可选
电气接头:DB型9针
输入信号:0-5V(模拟信号)
输出信号:0-5V(模拟信号)
数字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII协议 (以太网接口2个,最多串联99台)
供应电源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA
产品特色:
通过采用热式原理的全新芯片流量传感器,实现快速回应。
通用的常闭型阀门确保了安全
标配RS485通讯,数字信号保证了控制的精确性,不受外界干扰
技术参数:
流量FS(N2换算):10SCCM-300SLPM
气体种类:所有气体
传感器类型:热式芯片传感器
阀门类型:电磁比例阀,常闭
控制范围:2%-99%
控制速度:1秒以内(0-50SLM)、1.5秒以内(100-150SLM)、2秒以内(200-300SLM)
控制精度:±1.0%FS(0-150SLM)、±2.0%FS(150-300SLM)、
重复性:±0.25%FS
工作差压:50-350Kpa
使用温度:0-50℃
允许湿度:0-90%
泄漏率:为1x10-8Pa.m3 /sec(不包含He)
产品材质:主体-SUS316
密封圈:Viton
可另选:PTFE、氯丁橡胶,丁腈橡胶NBR
管路接头:1/4、1/2、3/4英寸卡套
可另选:VCR、RC螺纹可选
电气接头:DB型9针
输入信号:0-5V(模拟信号)
输出信号:0-5V(模拟信号)
数字接口:RS485,MODBUS-RTU 或 ASCII协议 (以太网接口2个,最多串联99台)
供应电源:1:+15VDC(±5%)100mA,-15VDC(±5%)200mA
2:+24VDC(±10%)300mA
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