美国英斯特克（Instrutech）CCM502系列冷阴极电离真空计

低杂散磁场技术，*的双传感器设计可互换，零维护，使用寿命长

美国Instrutech CCM502型冷阴极双反磁控电离真空计，内置控制器，提供一个对数线性模拟输出，一个传感器的状态输出，为各种过程控制方案提供了很大的灵活性。传感器采用紧凑的金属设计，简单而坚固，适用于多种工业应用。在阳极安装了一个辅助激活传感器装置，节省了冷阴极传感器启动时间。超低杂散磁场的设计，超越了冷阴极传统的应用，扩大了冷阴极技术使用范围，例如：CCM502可以将冷阴极传感器与对外部磁场敏感的常规冷阴极真空计组合使用，这种新型磁场设计也允许CCM502使用在强磁场中。双腔传感器组件可互换避免清洗，减少维护，从而使CCM502成为和经济型的真空计。重质气体建议使用低电流集电极版本，如氩气，以防止自溅射，而高电流的版本使用推荐气体，如氮气/空气。的传感器设计和增强的信号处理技术为整个真空测量提供了和稳定的压力读数。
 
产品特色
●低杂散磁场技术
●在恶劣环境下，使用寿命长
●内置控制器，对数线性模拟输出
●双传感器可互换，零维护- 可换插头
●抗腐蚀馈入装置
●超紧凑尺寸
●可靠的快速激活传感器设计
 
行业应用
●真空炉
●分析仪器
●真空镀膜
●半导体
●大学科研
●工业-激光
●医疗
 
性能指标
测量范围：7.6×10-10～1×10-2Torr
1.3×10-9～1.3×10-2 mbar
1.3×10-7～1.3Pa
精度（N2）:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±30%读数
重复性:7.6×10 ～7.6×10 Torr:±5%读数
暴露在真空的材质：镍合金、氧化铝、不锈钢、玻璃
内部容积：22.8cm (1.391in )
容许压力：145psi，10bar绝压（于惰性气体＜50℃）
温度：工作温度：＋5～＋55℃；存储温度：-40～70℃
烘烤温度（法兰）：150℃（于表，电子元件移除）
相对湿度：
7.6×10-8～7.6×10-3Torr 0～95% 相对湿度，非冷凝
7.6×10-9～7.6×10 -3Torr 0～70% 相对湿度，非冷凝
重量：0.28kg(0.61 lb.)（NW25KF接口）
外壳：铝挤压
安装方式：任意
模拟输出：对数线性0～8Vdc，1V/十进制
错误信号：模拟输出开关≥10V
响应时间：p＝7.6×10 Torr ～1秒
p＞7.6× 10-7Torr ＜100毫秒
输出状态：冷阴极开关状态由打开集电极晶体管决定
（30V，VCE，100mA，IC）
晶体管关=传感器关，晶体管开=传感器开
供电电源：14.5～30Vdc，2W电源反接和过压保护
电源电压纹波：≤1Vp-p
测量室高电压：工作电压（阳极）：≤3.3KV
传感器激活电压（阳极）：≤4.5KV
测量室电流：低电流集电极版本≤100μA
高电流集电极版本≤500μA
电气连接：9针D型外螺纹
CE认证：EMC(EN61000-6-2, EN61000-6-3
EN61010-1, EN61326-1)
环境认证：RoHS认证