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Agilent FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计主动式

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更新时间：2024-04-05 18:23:50浏览次数：52次

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产品简介

主动式真空计FRG-700/FRG-702全量程皮拉尼反磁控真空计AgilentFRG-700真空计为全量程真空计，在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从3.8x10-9Torr至大气压（5x10-9至1013mbar）的工作压力和极限真空

详细介绍

主动式真空计

FRG-700/FRG-702 全量程皮拉尼反磁控真空计

Agilent FRG-700 真空计为全量程真空计，在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术，以测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压（5 x 10-9 至 1013 mbar）的工作压力和极限真空。带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性。这种组合真空计的优点在于降低成本并显著降低对宝贵空间的要求。

FRG-702 为 FRG-700 的全金属型号，内含金属密封的真空密封通导件。该真空计可以在比 FRG-700（法兰处 55 °C）更高的温度（法兰处 150 °C）下工作。

特性

在一体化、紧凑且经济的规管内集成两种测量技术
测量从 3.8 x 10-9 Torr 至大气压（5 x 10-9 mbar 至大气压）的过程和极限真空
带有一个对数模拟量输出信号的一体化紧凑规管可大幅降低安装、设置和集成的复杂性
适合监控高真空压力、蒸镀和溅镀系统的极限压力，以及中高真空范围内的普通真空测量和控制
灯丝不易损坏
优异的启动性能
便于清洁和修复
使用成本低
高电压 LED 指示灯可快速提供可视化的状态指示

性能指标

准确度	±30%
响应时间	<10 ms（当压力大于 10–6 mbar 时），≈ 1000 ms（当压力等于 10–8 mbar 时）
操作环境温度	+5 to +55 °C
烘烤温度	150 °C
模拟输出	0-10.5 VDC
测量范围	5 x 10–9 至 1000 mbar 3.8 x 10–9 至 760 Torr
电气连接	FCC 68 设备连接器，8 芯，母头
贮存环境温度	–40 至 +65 °C