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更新时间:2023-12-29 07:30:01浏览次数:34次
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经营模式:其他
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1.美国INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系统带法拉第杯或电子倍增器的组合,改进并提高氢气的监测,的峰值和位置的稳定性,与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍,9个数量级的电子学动态量程,分压测量从1*10-4~2*10-14Torr,广泛的应用于PVD机台或工艺状态,刻蚀,CVD注入
1.美国INFCON公司提供的Transpector2、100、200、300amu系统带法拉第杯或电子倍增器的组合,改进并提高氢气的监测,的峰值和位置的稳定性,与原始的Transpector相比讯噪比提高10倍,9个数量级的电子学动态量程,分压测量从1*10-4~2*10-14Torr,广泛的应用于PVD机台或工艺状态,刻蚀,CVD注入。更为强大TranspectorXPR3最小测量分压可达到1*10-2Torr,广泛适用于溅射,电子束蒸发等镀膜工艺的过程控制。在线质谱IPC400的研制,解决客户在高压强下分析气体成分的可能性,为客户提供在线实时监测工艺状态的可能。在线质谱仪Transpector CPM,曲线可以从大气取相,更为宽广的测量空间。CPM 紧凑型过程监控器是一款功能全面、结构紧凑且经济实惠的气体分析仪,适用于现场监控复杂的过程。2.QMG700高性能四极质谱仪。高测量速度0.125 ms/amu、超高灵敏度和宽广的动态范围扫描表示空气的谱线.在空气中检测到136 Xe (氙) 的含量为 7,8 ppb, 比噪声水平高数个量级.达到超过 10 个量级的动态范围。质量数1-1024amu可选择,离子源类型可选。3.PPM422等离子体过程检监控器是一种集成有能量分析器的差分泵质谱仪,可用于测量中性粒子、正离子和负离子,以及对等离子加工过程中的离子和中性粒子进行能量分析。功能特点:检测等离子体中的中性粒子和正负离子中性粒子和正负离子能量分析自由基测量等离子过程的终点检测宽泛的动态量程高测量速度vacuum H28
质谱仪(残余气体分析仪、大分子量质谱、等离子体质谱)
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