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GIST超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计,过滤精度可达3nm,设备结构紧凑,强度高,与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性,特别适用于用于惰性气体和反应性气体的过滤
GIST超纯气体过滤器专为电子级气体超纯净化开发设计,过滤精度可达3nm,设备结构紧凑,强度高,与所有类别的半导体工艺气体具有良好的兼容性,特别适用于用于惰性气体和反应性气体的过滤。
产品特色
• 316L 不锈钢电子级抛光外壳
• 高通量低压损
• 优异的化学相容性
• 耐高温、高压
• 100%完整性测试
• 100%氦气泄漏测试
• 洁净室制造和包装
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