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Gasfil系列超纯气体过滤器,采用整体316L不锈钢结构,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计,过滤精度可达0.003um
Gasfil系列超纯气体过滤器,采用整体316L不锈钢结构,专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计,过滤精度可达0.003um。整体金属结构,是理想的高温、动态高压应用过滤选择。
产品特色
• 整体316L不锈钢结构
• 超高颗粒拦截效率,高通量、低阻力
• 适合高温应用
• 结构紧凑
• 适用于多种工艺气体
• 洁净室环境内制造、测试、包装
• 99%完整性测试通过
• 99%氦气泄露检测通过
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