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上海德竹芯源科技有限公司
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产品型号SV50 / SV200
品 牌
厂商性质其他
所 在 地上海
更新时间:2023-10-10 09:20:51浏览次数:66次
产品分类 品牌分类
全部产品列表
经营模式:其他
商铺产品:1条
所在地区:
Strain Viewer 内应力检测仪具备透光材料内应力分布测量及缺陷筛查等检测功能。
优势
● 基于双折射应力测量模型实现应力瞬时测量,显示应力二维分布伪彩图● 采用双远心检测光路,相位延迟测量精度高● 根据不同测量视场要求,多种镜头可选● 订制化样品托盘,适应不同规格晶圆批量测试
适用对象
适用于三代化合物晶圆片、玻璃晶圆片、精密光学元件(平晶,棱镜,波片,透镜等)的内应力检测
适用领域面向化合物晶圆生产、光学精密加工等行业
检测原理● 基于偏振光应力双折射效应检测晶圆材料内部应力分布。当晶体材料由于内部缺陷存在应力集中时会导致应力双折射效应,偏振光透过它时会发生偏振态调制,通过测量透射光的斯托克斯矢量可以推算出材料的应力延迟量,从而得到材料内应力分布● 可同步集成晶圆表面缺陷暗场检测和尺寸量测
实测案例
Strain Viewer技术规格
瑞霏光电内应力检测仪将全口径延迟、应力方位角等分析整合进入一键测量,确保客户能快速确认工艺。
Strain Viewer 内应力检测仪
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