ZPT-F-Y科研气浮隔振光学平台
应用领域:
适合于高倍数电子显微镜、扫描探针显微镜、激光干涉仪、激光共聚焦显微镜等领域应用
产品特点:
■中航世纪公司依托于航空工业人员背景研发制造的具有负载能力强、刚性强、稳定性高、隔振效果好的科研级气浮隔振光学平台。
■优异的隔振性能:内置精密空气弹簧隔振系统,具备优秀的固有频率,对多个方向的振动特别是垂直方向有着良好衰减效果,避免外界振动干扰设备仪器精度,提高仪器设备使用精度和使用效率。
■自动调节水平功能:放置负载的位置发生变化,平台迅速通过高精度阀门自动调整空气弹簧内部的气压,自动保持水平。气动元器件全部执行德国FESTO产品,标配进口无油压缩机。
■台板采用蜂窝芯夹板结构,具有重量轻、高刚度、高阻尼等优点,上面板为1cr17优质高导磁不锈钢,经精密研磨处理,平面度高,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射、亚光效果,面板具有M6螺孔阵列,易于固定光学元件。
■隔振支撑为优质钢管焊接而成,整体坚固稳定。
■工作压力为0.35~0.6Mpa,标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作,用户只需要将气管连接进气口,就能使装置正常发挥隔振功能,气源可通过小型空气压缩机或氮气瓶供给,便于在安静场合使用。
技术指标:
■平面度:< 0.05mm/m2
■表面粗糙度:< 0.8μm
■固有频率;x方向:1.0Hz~1.5Hz y方向:1.0Hz~1.5Hz
■减振效率:x方向<5Hz时:88%~94% y方向<5Hz时:86%~92%
x方向<10Hz时:92%~98% y方向<10Hz时:90%~95%
■振幅:< 1μm
■荷载能力:800kg/m2
■重复定位精度:±0.05mm
产品型号:(接受客户任意规格定制生产)
台面细节图
精密研磨处理
表面平整精度
内核采用粘结蜂窝芯及隔离杯结构或焊接钢制蜂窝结构(用户可选)
装备地点:香港理工大学生物医学工程跨领域学部 产品规格:3000*1500*800mm
装备地点:南方科技大学 产品规格:2500*1500*800mm