BPG400 大气压至超高真空真空计-武汉泰和丰顺光电有限公司

益处

测量范围非常广，从 5×10-10 毫巴至大气压（3.8×10-10 托至大气压）
10-8 … 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性
皮拉尼联锁保护贝阿德-阿尔珀特系统在高压操作下单丝过早烧毁和过度污染
使用寿命长的氧化钇铱丝
备有可选的图形显示屏和现场总线接口
高真空皮拉尼自动调节，减少操作员干预
RoHS 合规
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

典型应用

对半导体过程和传输腔室的压力测量
工业镀膜
低真空和超高真空范围内的一般真空测量和控制

规格

类型		BPG400
测量范围（空气、O2、CO、N2）		5×10-10 … 1000
精度
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	±15
可重复性
10-8 … 10-2 毫巴	% of reading	5
除气 (1)
p < 7.2 × 10-6	mbar	electron bombardment, max. 3 min
压力，	bar (absolute)	2
温度
运行（环境）	°C	0 … +50
贮存	°C	-20 … +70
在法兰处烘烤，有延伸件	°C	150
在法兰处烘烤，无延伸件	°C	80
移除烘烤电子设备	°C	150
电源电压		+20 … +28
输出信号模拟
输出信号	V	0 … +10
测量范围	V	+0.774 … +10
电压与压强	volts per decade	0.75
错误信号	V	0.3 / 0.5
最小负载电阻	kΩ	10
接口（数字）(2)		RS232C
电气连接		D-Sub, 15-pin, male
电缆长度， (3)	m (ft.)	100 (330)
暴露于真空的材料		Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF	cm³ (in.³)	24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF	g	285 / 550
保护等级		IP30
Profibus DP
波特率		9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
地址		2 switches (address 00 - 127) or network programmable
数字功能		read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
模拟功能		0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
设定点继电器：设定点数量		2
设定点继电器：范围	mbar	1×10-9 … 100
设定点继电器：继电器触点		n.o., potential free
设定点继电器：滞后	% of reading	10
设定点继电器：触点额定值		60
Profibus DP 连接器		D-Sub, 9-pin, female
BPG（模拟输出、电源电压、设定点）连接器		D-Sub, 15-pin, male
DeviceNet™
协议		DeviceNet™, group 2 slave only
数据率开关	kBaud	125, 250, 500 or network programmable
电缆长度 125 kbps	m (ft.)	500 (1650)