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沈阳和研科技有限公司
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MT80 68手动研磨贴膜机； MT120 12手动研磨贴膜机； MT82 68自动研磨贴膜机； MT122 12自动研磨贴膜机；
| 型号 | MT80 | MT120 | MT82 | MT112 |
| 工件尺寸 | 6″＆8″ | 12″ | 6″＆8″ | 12″ |
| 晶圆厚度 | 500-1000μm | 500-1000μm | 300-750μm | 300-750μm |
| 膜类型 | 蓝膜＆UV膜 | |||
| 膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
| 膜长度 | ≦100m | |||
| 膜宽度 | 220-250mm | 240-350mm | 220-250mm | 240-350mm |
| 工作台 | 防静电特氟龙处理 | |||
| 加热温度 | 室温-150℃ | |||
| 效率 | 80片/小时 | 75片/小时 | 75片/小时 | 70片/小时 |
| 供气 | 0.5Mpa洁净干燥压缩空气 | |||
| 供电 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
| 外形尺寸 W*D*H | 390mm*770mm*610mm | 480mm*850mm*610mm | 650mm*880mm*500mm | 600mm*960mm*500mm |
| 重量 | 50kg | 60kg | 75kg | 90kg |
功能介绍：
1、MT80&MT120
*的防静电滚轮贴膜；
手动拉膜及贴膜；
手动晶圆上下料；
晶圆边沿无飞边切割技术；
结构合理换刀方便；
工作台浮动设计，高度可调；
离型膜自动缠绕回收；
可根据需求做定制化；
2、MT82&MT122
*的防静电滚轮贴膜；
防静电离子风机；
自动胶膜传送及贴覆；
贴膜压力及速度均可调；
手动晶圆上下料；
晶圆边沿无飞边切割技术；
基于PLC程序控制；
可根据需求做定制化；
适用于半导体晶圆减薄制程中的贴膜工艺。
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