半导体也有“碳焦虑” 第三代新材料优势更显
【化工机械设备网 行业动态】最近一段时间，关于“半导体”的声音持续上扬，市场不停歇地在关注整个行业的发展趋势和走向，这使得编者也深入了解了一下我国在硅片、电子特气、刻蚀和沉积、化学机械抛光等价值链上取得的各项成就，以及半导体制造、晶圆制造、光刻设备、制程器件等等方面的优与缺。
别说，一部“血汗”崛起史，艰难程度比环保行业更甚，但两者不乏共通之处。当然，今天要讲的不是这个主题，而是要点名半导体行业的污染治理。
没错，在半导体多方博弈的“惊心动魄”中，碳减排并不能因此“放水”。与所有行业一样，半导体企业也需要在碳达峰和碳中和方面发力，以技术为导向，以零碳为目标，真正成为新时代下高科技公司的“优秀代表”。
或者说，由于半导体行业产生的工业废水、工业废气、工业废渣等污染物皆具有行业特性，导致处理难度相较一般“工业三废”更高，其更需要在减污降碳方面下功夫。而相较于第一代半导体产业，以碳化硅和氮化镓为代表性材料的第三代半导体行业其实占据了一个比较有利的位置。
据悉，氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC)相较硅器件可降低50%以上的能量损失，减少75%以上的装备体积，这是其一。其二，第三代半导体产业在“双碳”时代能够实现从设计到制造，到封装测试，及应用的全生命周期低碳战略，或者说碳排放可控。
毕竟，半导体产业一直是一个资源消耗“大户”，用电量需求极大，用水量需求也不遑多让。就以比较有名的台积电为例，其报告中就明确表示，2020年台积电用电量169亿度，超过了整个台北市的用电量，相当于中国台湾全年用电量的近6%。而且，这个数据预计今年将提升到7%左右。
在用水量上，有公开数据显示，台积电三个厂区日用水量超过19万吨，2020年全年台积电耗水7000万吨左右。当然，好消息是，台积电表示已经实现86%的废水回收利用，至少能够在很大程度上避免工业用水和农业、生活用水矛盾。
其实这也是行业普遍现象，台积电绝不是唯一一个为节水、节能、减碳、减排而努力的半导体企业。像英特尔，承诺到2025年实现用水100%回收再利用，到2030年实现100%使用清洁能源；SK海力士，启用了生命周期评估系统，并且将BOD控制在国家标准的10%以内；以及英飞凌，承诺到2030年实现碳中和等等。
也能看出，这在今后的半导体行业将会是常态，半导体企业与各行各业的企业都会面临“碳焦虑”，这是全球减排大潮下一致的目标。而纵观半导体行业的“净零”路径，除了必要的末端废气、废水、固废处置外，节能控排的优先级也很高，包括清洁能源电力体系转换，产品能效提升，资源回收再利用，低碳数据中心建设，智慧化升级等手段依旧是主流。
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