Maruyama冷却器冰水机chiller维修服务
半导体专用温控装置（Semiconductor Chiller）主要用于半导体制造过程中精确控制反应室的温度。 它是一种自平衡循环装置，主要由换热器、循环泵、压缩机和控制系统组成。 属于生产过程中的温控设备。半导体专用温控设备利用制冷循环与工艺冷却水的热交换原理，高精度控制半导体工艺设备所用循环液的温度、流量和压力，以达到半导体工艺的温度控制要求。它是集成电路制造过程中的关键设备。根据不同工艺的要求，控制给定温度的循环液流过半导体工艺设备反应室内的电极或壁，将热量带入半导体专用温控设备，从而传递热量通过热交换器进行制冷。制冷剂，再通过制冷剂将热量释放给工艺冷却水，从而实现工艺过程的温度控制。
Maruyama Chiller丸山制冷机维修服务
2023年半导体专用温控装置市场规模约46.9亿元，2019-2023年年复合增长率CAGR约为 %，预计未来将持续保持平稳增长的态势，到2030年市场规模将接近70.2亿元，未来六年CAGR为6.0%。
Maruyama Chiller丸山制冷机维修服务 Maruyama温控器
可维修Maruyama Chiller丸山制冷机,eYR-8030SC、eYR-9030DC等Maruyama冰水机
应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
温控精度（空载时）±0.05℃
触摸屏操作，人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小
占地面积小、保护装置
快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产
运行稳定、准确控温
可用选项
省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。
可对应温度稳定性（空载时）±0.05℃。
循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)
冷却方式：水冷式
