单晶硅中电解液的配备对纯水要求十分严格，通常要求水的电导率在0.1us/cm(电阻值在10兆欧姆)以上，传统用来制备电池用超纯水的工艺是常采用阴阳树脂交换设备，该工艺的缺点在于树脂在使用一段时间以后要经常再生。下面大家介绍几种比较适合单晶硅炉用超纯水设备的工艺。
1、采用离子交换方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点
2、采用两级反渗透方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→*级反渗透 →PH调节→中间水箱→第二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点
3、采用EDI方式，其流程如下：
原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点
随着膜分离技术的不断成熟，现在单晶硅超纯水设备常常采用反渗透过滤工艺，或者是采用一级反渗透后面再经过离子交换混床(或电去离子EDI)工艺来制取超纯水。
优点：
1、无需酸碱再生：在混床中树脂需要用化学药品酸碱再生，而EDI则消除了这些有害物质的处理和繁重的工作，保护了环境。
2、连续、简单的操作：在混床中由于每次再生和水质量的变化，使操作过程变得复杂，而EDI的产水过程是稳定的连续的，产水水质是恒定的，没有复杂的操作程序，操作大大简便化。
3、降低了安装的要求：EDI系统与相当处理水量的混床相比，有较不的体积，它采用积木式结构，可依据场地的高度和窨灵活地构造。模块化的设计，使EDI在生产工作时能方便维护。
单晶硅炉用超纯水设备主要配置：
1、预处理系统：原水箱(选配)、原水箱液位、控制器、原水进水、电磁阀、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、全自动软水器、管路、阀门。
2、RO反渗透系统：一级高压泵、二级高压泵、一级反渗透膜、二级反渗透膜、反渗透膜壳、膜架、控制系统、进水电磁阀、冲洗电磁阀、调压阀、高压开关、低压开关、精密过滤器。
3、储存系统：液位控制器中间水箱纯水箱。
4、IX离子交换系统：给水泵、再生泵、树脂容器、离子交换树脂、管路、阀门、机架。
