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金属滤芯UCD系列气体过滤器

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  • 公司名称张家港普瑞伦半导体设备有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地张家港市
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/11/14 12:31:17
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作为Pureron Japan 株式会社在中国的全资子公司,张家港普瑞伦半导体设备有限公司成立于2011年,公司主要从事于半导体、太阳能、电缆、电器设备及相关行业的过滤器,传感器及半导体相关设备和器件的研发,生产和销售,并从事相关同类产品的批发和进出口业务。母公司Pureron Japan 株式会社成立于1985年,主要业务覆盖精密仪器 电子仪器的系统设计、制造和销售各种流体控制设备以及零部件、附件的制造和销售 陶瓷元件、金属元件、PTFE元件的制造和销售 数控切削加工等。其主要产品内置陶瓷气体过滤器、全金属气体过滤器、PTFE气体过滤器、烘干系统、压力传感器、气体净化器、数字式面板仪表、数字式流量开关、数字式流量计等应用于日本各大半导体厂商,并海内外。历经30年的市场应用,以高精度,高质量的产品保证得到了行业的一致认同。张家港普瑞伦半导体设备有限公司以Pureron Japan 株式会社的技术优势为依托,大力开展国内市场,用高品质的产品为客户提供支持,谋求双赢,共同发展。
● 过滤器材料全部采用SUS316L,不用担心腐蚀和中间产物,同时具备较高的耐热性能。● 使用氮气(N2)输入,当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时,输出侧压力损失△为0.05MPa。● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm,实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
金属滤芯UCD系列气体过滤器 产品信息

圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10~100L/min

● 过滤器材料全部采用SUS316L,不用担心腐蚀和中间产物,同时具备较高的耐热性能。

● 使用氮气(N2)输入,当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时,输出侧压力损失△为0.05MPa。

● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm,实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

规格:

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