圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10~100L/min
● 过滤器材料全部采用SUS316L,不用担心腐蚀和中间产物,同时具备较高的耐热性能。
● 使用氮气(N2)输入,当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时,输出侧压力损失△为0.05MPa。
● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm,实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
规格:
圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10~100L/min
● 过滤器材料全部采用SUS316L,不用担心腐蚀和中间产物,同时具备较高的耐热性能。
● 使用氮气(N2)输入,当过滤器输入侧压力为0.2MPa、流量为90SLM时,输出侧压力损失△为0.05MPa。
● 固定或脉动方式下过滤精度经CNC确认达到0.003μm,实现了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
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