日立CD-SEM二手现货扫描电镜S-9220适用于8英寸晶圆的监测，CD检测范围0.1~2.0μm，吞吐量45wph，放大倍数1000~300,000。
设备尺寸和参数：
主机尺寸: 1200(W)*1930(D)*1850(H) mm, 1850kg
显示单元: 600(W)*1360(D)*1850(H) mm, 320kg
电源：535(W)*870(D)*1800(H) mm, 300kg
冷却水循环器：407(W)*484(D)*880(H) mm, 55kg
翻新要求：
大修主柱
按要求检修主柱，包括清洗抛光枪室和阳极极片，更换聚光镜孔径，清洗聚光镜极片，清洗物镜极片，更换O型圈。
更换新枪灯丝和透镜光圈。
验证高压电源的工作情况。
修复二次电子探测器。
烘烤主柱并抽真空，以验证其符合OEM规范。
检查晶圆处理器和X/Y级的操作。
润滑所有运动部件。
检查所有测量功能并重新校准。
