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RTP-6经济型快速退火炉

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公司名称凯戈纳斯仪器商贸（上海）有限公司
品牌
型号RTP-6
所在地
厂商性质其他
更新时间2022/12/11 18:53:50
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公司介绍主营产品

凯戈纳斯仪器商贸(上海)有限公司是由瑞典Hot Disk有限公司注资成立的，是一家朝气蓬勃的仪器商贸公司，在市场上享有良好的声誉。公司成立近二十年来，致力于成为热物性设备的系统供应商，主要业务是在中国和一些邻国开发、制造并销售瑞典Hot Disk品牌热常数分析仪。目前也代理日本ai-phase公司测试薄膜材料热扩散系数的设备，以及加拿大Thermtest公司所的传统平板热流计法、专线法和热带法导热仪，等世界上等的*热物性分析仪器。多年来，公司也是以色列Nanonics公司近场光学显微镜的中国国内-家供应商。近，我们增加了日本Advance Riko公司红外金面反射炉、日本SUGA公司SPS (放电等离子烧结炉)设备的国内-家代理。

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RTP-6经济型快速退火炉产品信息

RTP-6经济型快速退火炉

RTP-6升温速率可达80℃/s。

RTP-6采用抛物线形的黄金反射面，可均匀热处理6英寸的圆晶。该系统可进行快速的热处理，适合热处理工艺的研究与开发。可用于半导体工艺中硅化物的形成以及半导体化合物的过程退火。

应用：

1. 离子注入后的活化退火
2. 沉积氧化膜的退火
3. 欧姆电极合金化
4. PZT，SBT和其它铁电薄膜的结晶退火
5. 硅化物及自对准硅化物的生成
6. 发光元件，半导体激光基板的热处理
7. 超浅结的生成
8. 铁电电容器沉积
9. 栅氧化膜的生成

	特点：
	快速热处理
	腔体采用水冷，可进行快速降温
	真空置换气氛后，可采用流动气氛进行热处理
	温度程序设置和外部信号输入可以通过脑轻松控制
	加热过程的温度数据也可以显示在电脑上
	石英保护板（可选）可以安装在腔室内以防止污染
	配备了各种安全措施
	九个独立的加热区可实现不同尺寸样品均匀的温度控制

组成：

1. 红外金面反射炉
2. 加热腔
3. 可编程温控器
4. 9个独立的加热区
5. 跨度变换单元
6. 气体管路系统
7. 热气排出系统
8. 炉体框架，开关板
9. 高温计（可选）
10. 水冷机（可选）
11. 真空泵（可选）