真空阀门是指在真空系统中，用来改变气流方向，调节气流量大小，切断或接通管路的真空系统元件。真空阀门关闭件是用橡胶密封圈或金属密封圈来密封的。
波纹管截止阀的波纹管是用不锈钢、高锌黄铜JI80、塑料和其他材料制成。小通径(口径在10毫米以下)的截止阀关闭件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞阀。
作为通径小于250毫米的闭路阀门，被广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。闸阀却受到较大的限制，但这主要是对于大通径来说的。可用的还有球 形旋塞阀(球阀)、柱塞阀和蝶阀。作真空阀用的旋塞阀未得到推广，因为旋塞阀需要用油润滑，使油汽可能进入真空系统，而这是不允许的。真空阀门既可用现场 手控和遥控，也可用电动、电磁传动(电磁阀)、气动和液动控制。
参数定义
公称通径：(nominal diameter)，又称平均外径(mean outside diameter)，表示符号DN，就是各种管子与管路附件的通用口径。同一公称直径的管子与管路附件均能相互连接，具有互换性.它不是实际意义上的管道外径或内径，虽然其数值跟管道内径较为接近或相等，为了使管子、管件连接尺寸统一，采用公称直径(也称公称口径、公称通径)。例如焊接钢管按厚度可分为薄壁钢管、普通钢管和加厚钢管。其公称直径不是外径，也不是内径，而是近似普通钢管内径的一个名义尺寸。每一公称直径，对应一个外径，其内径数值随厚度不同而不同。公称直径可用公制mm表示，也可用英制in表示。管路附件也用公称直径表示，意义同有缝管。
2.公称压力：(Nominal pressure)，表示符号PN，在一定温度下应用时允许的工作压力。对碳钢阀体的控制阀，指200℃以下应用时允许的工作压力;对铸铁阀体，指120℃以下应用时允许的工作压力;对不锈钢阀体的控制阀，指250℃以下应用时允许的工作压力。当工作温度升高时，阀体的耐压会降低。例如，公称压力为6.4MPa(PN64)的碳钢控制阀，用于300℃时的耐压为5.2MPa，用400℃时的耐压为4.1MPa，用于450℃时的耐压为2.9MPa。因此，控制阀公称压力的确定不仅要根据工作压力，还需根据工作温度和材质特性，而不仅仅只需满足公称压力大于工作压力。
作用
1.开关气路，当阀1和阀4关闭，阀2打开时，机械真空泵Ⅲ对容器I抽真空，气流流经预真空抽气管路;当阀2关闭，阀4打开时，机械泵可单独对扩散泵抽真空;当阀1和阀4同时打开时，扩散泵和机械泵可同时工作，对容器进行抽空，此时气流流经扩散泵。可见，阀门在这种操作中的作用是开关气路，改变气流的流经路线。
2.控制气流大小，调节真空度在图1中，调节阀1的阀盖开启角度，即可调节流经管路的气流量大小;关闭阀2和阀4，通过放气阀3可以给机械泵Ⅲ的入口放成大气;通过放气阀5可以调节容器内的真空度。
3.定量充气，在玻璃阀的柱塞上有个一定体积的小洞，当小洞转向右边和高压气瓶连通时，小洞中就可充满高压气体;当它转向左边和真空容器连通时，就把该体积的高压气体放进容器中去，这样就起到了定量充气的作用。
真空阀门的种类繁多，通常按阀门的职能、结构型式、驱动方式、材料和用途进行分类。
用途
电磁真空带充气阀与电磁真空压差阀是专门用于防止机械真空泵返油的真空阀，安装于机械真空泵的进气口，并与泵同步开启和关闭。一般不能用到其它地方，也就是说不能用于真空系统中作放气之用。选用尼威电磁真空压差阀的优点是耗电量很小，节省能源;DN≤50的阀体材质为铝合金，重量轻，体积小，阀板关闭速度快。
挡板阀用在真空管道中角通和三通的地方。驱动方式为手、气、电磁、电动由用户决定。其中GDC-J型电磁高真空挡板阀为金属波纹管密封，其应用范围较广,也可当充气阀用;安装位置可任意,可反顶一个大气压,并有反馈信号输出。
插板阀用在真空度要求高或管道尺寸要求高的场合。全通导、阀门漏率为10-7Pa.L/S，双向密封。驱动方式手、气、电动由用户决定。气动和电动均带信号反馈装置。
隔膜阀与球阀为直通式，并能用在正压和真空并存的场合。驱动方式手、气、电动由用户决定。
蝶阀为直通形式，手、气、电三种驱动方式由用户决定。手动蝶阀开启角度任意可调;智能型的气动和电动蝶阀其开启角度也任意可调。
阀门的使用条件：
1.介质为纯净空气或非腐蚀性气体。
2.介质温度由使用橡胶的温度所决定。
