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快速退火炉(LRTP)

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  • 公司名称武汉嘉仪通科技有限公司
  • 品       牌
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  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2022/10/29 16:10:23
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      武汉嘉仪通科技有限公司是以薄膜物性检测作为战略定位,技术的。公司集研发、市场和技术服务于一体,相继被评为湖北省“百人计划”及武汉市政府“城市合伙人”企业。公司成立于2009年,总部位于中国·光谷,专注于薄膜材料物理性能测量仪器的自主研发,致力于为客户提供薄膜材料的高低温环境试验、热、电、磁、力、光、声等性能测试分析的整体解决方案。

 

      嘉仪通科技始终坚持自主研发与技术创新,拥有一支研发能力和行业经验丰富的技术开发团队,公司总部建有省级工程实验室和省级工程技术研究中心,并在国内外建立了办事处以及联合实验室共享中心,包括中国的北京、上海、成都以及海外的美国、英国、巴基斯坦、新加坡等地。未来几年,化的营销体系及客户服务网络将全面建成。

 

      目前,公司拥有自主研发和核心知识产权的产品体系,包括高低温环境实验室(液氮低温恒温器和红外快速退火炉)、薄膜相变温度分析仪、薄膜热导率测试系统、薄膜变温电阻测试仪、薄膜热电参数测试系统、薄膜霍尔效应测试系统等序列产品。广泛应用于大专院校、科研院所、第三方检测机构和工业企业等细分领域。同时,公司依托省工程实验室及联合实验室等共享平台的大数据分析,为用户的薄膜技术研究及战略方向提供理论依据与数据支撑。

 

      嘉仪通科技秉承技术创新、应用为上的价值理念,遵循“聚众之智,穷理致用”的原则,踏踏实实做好每一款产品,孜孜不倦的为广大客户提供最合适的产品与服务!  
 
 
  
 
  
 
 
 
快速退火炉(LRTP) 产品信息

快速退火炉LRTP-1200,采用红外辐射加热技术,可实现大尺寸样品(4英寸)快速升温和降温,同时搭配超高精度温度控制系统,可达到的温场均匀性,对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。

快速退火炉应用案例

快速热处理,快速退火,快速热氧化,快速热氮化

离子注入/接触退火

SiAu, SiAl, SiMo合金化

太阳能电池片键合

电阻烧结

低介电材料热处理

晶体化,致密化

其他热工艺需求

快速退火炉产品特点

可测大尺寸样品 可测单晶片样品的尺寸为4英寸(100mm)。

快速控温与高真空 升温速率可达100℃/s,真空度可达到10Pa。

程序设定与气路扩展 最多可创建和存储32个程序、8个PID设定,实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路(MFC),应用不同气氛环境(真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等)。

全自动智能控制 采用全自动智能控制,包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。

超高安全系数 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施,保障仪器使用安全

快速退火炉技术参数

型号

LRTP-1200

温度

1150℃

升温速率

100℃/s

降温速度

200℃/min(1000℃-->400℃)

控温精度

≤0.1℃

温场均匀性

≤0.5%

腔体冷却

水冷方式,独立冷却源

衬底冷却

氮气吹扫

工艺气路

MFC控制,4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)

主机尺寸

450×625×535,单位mm

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