模块化设计, 可选择装备无铁芯电机或铁芯电机
双重线导轨或滑轨系统
四种型号 ( DGL 140, 150, 180, 200 )
行程可从100mm到3000mm（可选无尘室盖板标准）
直接驱动, 无背隙和无嵌齿效应
模块的设计配备编码器
编码器的高分辨率有 5um, 1.0um或0.1um
速度可达5m/s，加速度可达10G
直线电机平台>>特点
| 性能参数 | 单位 | 参考值 |
| 加速度 | G | 10 |
| 速度（分辨率为1μm） | m/s | 5（40μm光栅距和20MHz计数频率） |
| 速度（分辨率为0.5μm） | 2.5（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（分辨率为0.1μm） | 1.3（20μm光栅距和20MHz计数频率） | |
| 速度（模拟量编码器） | 8（40μm光栅距和200KHz输入频率） | |
| 4（20μm光栅距和200KHz输入频率） | ||
| *直线度 | μm | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm |
| *平面度 | ±3μm/25mm，NTE±8μm/300mm | |
| 重复精度（分辨率为1μm） | ±3μm（40μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.5μm） | ±1.5μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（分辨率为0.1μm） | ±1μm（20μm光栅栅距） | |
| 重复精度（模拟量编码器） | ±5counts |
*所有的测量数值基于模组安装在平面度为5um的花岗岩台面上。
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模组 轴承载荷 侧倾力矩 侧倾力矩 横摆力矩 单位 N NM NM NM DGL150 AUM2 S2 2480 109 108 108 S3 S4 AUM1 S30 3944 173 236 236 L30 355 355 DGL180 AUM3 S2 213 236 236 S3 355 355 S4 355 355 AUM1 S50 236 236 L50 355 355 DGL200 AUM4 S2 256 236 236 S3 355 355 S4 355 355 ACM1 S80 236 236 L80 355 355 ACM2 S1 355 355 S2 473 473 ACM3 S1 355 355 S2 473 473 DGL250 AUM5 S2 345 236 236 S3 355 355 S4 355 355 ACM1 S100 236 236 L100 355 355 ACM4 S1 9360 795 842 842 S2 1123 1123
